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　　無(wú)塵車(chē)間是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。話(huà)雖然這么說(shuō)，但并不是所有的無(wú)塵車(chē)間都需要控制溫濕度，無(wú)塵車(chē)間為什么要控制溫濕度?主要作用是什么？

無(wú)塵車(chē)間對(duì)溫濕度的控制決取于其生產(chǎn)工藝。在滿(mǎn)足加工工藝的條件下，還應(yīng)該考慮到人的舒適感。因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故，相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。下面我們來(lái)看常見(jiàn)無(wú)塵車(chē)間對(duì)溫濕度有要求的工藝。

　　舉例一)

在精密機(jī)械加工和計(jì)量等場(chǎng)合，為了防止因熱膨脹而引起的誤差，必須使工件保持一定的溫度。工件溫度的允許波動(dòng)幅度應(yīng)根據(jù)加工精度決定。

例如，在恒溫室里對(duì)一根長(zhǎng)500mm的標(biāo)準(zhǔn)尺刻線(xiàn)，工藝允許線(xiàn)間公差為2um，其中l(wèi)um為尺溫變化所引起的形變誤差，另1um為加工與量測(cè)誤差。1um折合尺溫變化量＝0.20C[a為尺線(xiàn)膨脹系數(shù)，取10／um／(m?K)；l為尺長(zhǎng)，m]，故工件溫度變化需在以?xún)?nèi)。但由于工件測(cè)量?jī)x器等都有一定的熱惰性，空氣溫度的波動(dòng)傳人工件后，就要衰減。在設(shè)計(jì)恒溫系統(tǒng)時(shí)，一般總是以恒定環(huán)境空氣溫度為依據(jù)，故相應(yīng)的環(huán)境溫度精度可比工件允許的溫度精度低一些。

因此，在確定恒溫室參數(shù)和選擇自動(dòng)控制時(shí)，必須考慮工件恒溫恒濕車(chē)間、圍護(hù)結(jié)構(gòu)、空氣處理設(shè)備和自控系統(tǒng)之間的動(dòng)態(tài)特性。

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　　舉例二）

在電子行業(yè)制造車(chē)間是最重要產(chǎn)生靜電的地方，通常靜電會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成短路甚至?xí)斐蓡T工導(dǎo)電暈倒事故，所以電子行業(yè)的無(wú)塵車(chē)間相對(duì)濕度不應(yīng)低于30%，這樣即可以減少靜電的產(chǎn)生，通常建議無(wú)塵車(chē)間的防靜電區(qū)域相對(duì)濕度不低于50%。過(guò)于干燥的空氣中易粉塵飛揚(yáng)，電子廠無(wú)塵車(chē)間無(wú)特殊要求的情況下，溫度控制在22℃左右，相對(duì)濕度控制在55～60%RH之間，在這種環(huán)境下，人們感覺(jué)舒適，靜電也消失了。

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　　舉例三）

　　SMT車(chē)間對(duì)溫度和濕度有明確的要求

首先主要是為了錫膏能工作在一個(gè)較好的環(huán)境，溫度會(huì)影響錫膏的活性，對(duì)于里面所添加的助焊劑的相關(guān)溶劑的活性有一定的影響。溫度高會(huì)增加其的活性，最終影響絲印貼裝及回流的效果。容易出現(xiàn)虛焊，焊點(diǎn)不光澤等現(xiàn)象。濕度的大小回引起錫膏在空氣中吸入水氣的多少，如過(guò)吸如過(guò)多水氣，會(huì)使回流時(shí)產(chǎn)生氣空，飛漸，連焊等現(xiàn)象。故SMT恒溫恒濕車(chē)間溫濕度標(biāo)準(zhǔn):溫度:24±2℃濕度:50±10%。

　　舉例四）

在生物制藥的潔凈車(chē)間中對(duì)易吸潮藥品的相對(duì)濕度要求45％一50％RH(夏季)，片劑等固體制劑50％～55％RH，水針及口服液55％～65％RH。這樣有利于更好的控制藥品的生產(chǎn)質(zhì)量。

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　　舉例五）

在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線(xiàn)性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院螅瑢?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車(chē)間，這種車(chē)間不宜超過(guò)25度。

濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多，相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。

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　　舉例六）

食品，保健品，飲料等車(chē)間對(duì)對(duì)生產(chǎn)潔凈度要求是比較高的，通常為10萬(wàn)級(jí)至萬(wàn)級(jí)以上，但同時(shí)車(chē)間的濕度越低越容易滋生細(xì)菌，細(xì)菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨蟲(chóng))在相對(duì)濕度超過(guò)60%的環(huán)境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對(duì)濕度超過(guò)30%時(shí)就可以增長(zhǎng)。在相對(duì)濕度處于40%至60%的范圍之間時(shí)，可以使細(xì)菌的影響以及呼吸道感染降至最低。

　　綜合以上多個(gè)行業(yè)我們總結(jié)出溫濕度對(duì)無(wú)塵車(chē)間的五大影響

1、細(xì)菌生長(zhǎng);

2、工作人員感到室溫舒適的范圍;

3、出現(xiàn)靜電荷;

4、金屬腐蝕;

5、水汽冷凝;

6、光刻的退化;

7、吸水性。