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半導(dǎo)體潔凈車(chē)間注意事項(xiàng)

　　半導(dǎo)體組件空間單位都是以微米來(lái)計(jì)算的，所以微塵顆粒附著在制作半導(dǎo)體組件的晶圓上，很有可能影響到上面的精密導(dǎo)線布局的樣式，造成短路或斷路情況。因此所有半導(dǎo)體制程設(shè)備都必須放置在隔絕粉塵進(jìn)入的密閉空間里，這就是半導(dǎo)體潔凈車(chē)間的來(lái)由。

　　下面給大家說(shuō)說(shuō)出入半導(dǎo)體潔凈車(chē)間需要注意的事項(xiàng)：

　　1.半導(dǎo)體潔凈車(chē)間內(nèi)部要確保粉塵只出不進(jìn)，因此潔凈車(chē)間室內(nèi)要保持大于大氣壓的環(huán)境，這就需要用大型鼓風(fēng)機(jī)將經(jīng)凈化設(shè)備的空氣源源輸入潔凈車(chē)間中。

　　2.為保持恒溫恒濕，大型空調(diào)設(shè)備須搭配前面的鼓風(fēng)加壓系統(tǒng)使用。鼓風(fēng)機(jī)加壓多久，空調(diào)就得開(kāi)多久。

　　3.所有經(jīng)凈化設(shè)備的空氣流動(dòng)方向均由上往下為主，因此潔凈車(chē)間室內(nèi)空間設(shè)計(jì)或機(jī)臺(tái)擺放應(yīng)避免突兀，使塵埃細(xì)菌等在潔凈車(chē)間內(nèi)回旋停滯的機(jī)會(huì)與時(shí)間減至最低程度。

　　4.所有建材均以不易產(chǎn)生靜電吸附的材質(zhì)為主。

　　5.所有人或事物進(jìn)出潔凈車(chē)間，人必須穿配套防塵服，人或事物都要經(jīng)過(guò)風(fēng)淋室吹淋以將表面粉塵先行除掉。

　　6.半導(dǎo)體潔凈車(chē)間內(nèi)水的使用只限用去離子水。一是防止水中粉粒污染晶圓，二是防止水中重金屬離子污染金氧半晶體管結(jié)構(gòu)的帶電載子信道，影響半導(dǎo)體組件的工作特性。去離子水是最佳的溶劑與清潔劑，在半導(dǎo)體工業(yè)的使用量非常驚人。

　　7.半導(dǎo)體潔凈車(chē)間用到的氣源，包括吹干晶圓和機(jī)臺(tái)空壓所需要的，都需要使用98%氮?dú)?，吹干晶圓的氮?dú)馍踔烈?9.8%以上的高純氮。