潔凈廠房空調(diào)設(shè)計(jì)實(shí)踐及存在的問題

潔凈廠房空調(diào)設(shè)計(jì)存在較多常見的具體問題, 現(xiàn)介紹一下我們工程實(shí)踐的一些經(jīng)驗(yàn)。

一、合理確定室內(nèi)的溫、濕度參數(shù)

除工藝有特殊要求, 明確規(guī)定溫、濕度參數(shù)外, 潔凈空調(diào)系統(tǒng)與普通空調(diào)系統(tǒng)同樣面臨合理確定室內(nèi)空調(diào)溫、濕度參數(shù)的問題, 而這一點(diǎn)常常在設(shè)計(jì)時(shí)被忽略。國(guó)外實(shí)踐證明, 對(duì)潔凈室這種特殊工作條件,室內(nèi)熱環(huán)境對(duì)人的生理、心理影響直接關(guān)系到工作效率, 間接影響產(chǎn)品的質(zhì)量和成品率。

普通空調(diào)系統(tǒng)中的各類公共建筑, 其室內(nèi)參數(shù)的選取主要決定于熱舒適和空氣品質(zhì)。在此前提下,夏季一般盡可能在允許范圍內(nèi)選用較高的室溫和較大的相對(duì)濕度, 冬季則相反。對(duì)于普通空調(diào)系統(tǒng), 這樣選取參數(shù)的結(jié)果, 不僅可以減少經(jīng)圍護(hù)結(jié)構(gòu)的傳熱負(fù)荷及占總負(fù)荷比例很大的新風(fēng)負(fù)荷, 而且由于夏季送風(fēng)的機(jī)器露點(diǎn)溫度相應(yīng)提高, 使得夏季對(duì)空氣冷卻設(shè)備及對(duì)冷凍水供水溫度的要求都相應(yīng)降低; 冬季所耗供熱量及加濕量也相應(yīng)減少。在很多情況下, 還可能因加大了送風(fēng)燴差而減少了送風(fēng)量。因此,對(duì)于這類建筑空調(diào)系統(tǒng), 可明顯降低初投資和節(jié)約經(jīng)常運(yùn)行的能耗。

　　而對(duì)于潔凈空調(diào)系統(tǒng)卻略有不同, 一般來說, 為便于維持室內(nèi)潔凈度, 潔凈室一般很少有外圍護(hù)結(jié)構(gòu), 經(jīng)圍護(hù)結(jié)構(gòu)傳遞的冷、熱負(fù)荷不多。而人員、燈光及工藝設(shè)備產(chǎn)熱所致的負(fù)荷量基本上與室內(nèi)參數(shù)無關(guān)。同時(shí), 絕大多數(shù)情況下, 送風(fēng)量決定于潔凈級(jí)別的需要, 也與室內(nèi)設(shè)計(jì)參數(shù)無關(guān)。唯一受影響大的是新風(fēng)負(fù)荷量, 除排風(fēng)量較大的潔凈室外, 新風(fēng)負(fù)荷通常所占總負(fù)荷的份額不大, 新風(fēng)量全年也是固定的。

正因?yàn)榕c普通空調(diào)系統(tǒng)存在著這種差別, 同時(shí)必須考慮到潔凈室工作人員身著與潔凈級(jí)別相配套的潔凈工作服。高級(jí)別工業(yè)潔凈室或無菌室一般是內(nèi)外兩層潔凈服, 按ISO一77 30 標(biāo)準(zhǔn)測(cè)算, 潔凈室服裝的熱阻R 在0.12m²·k/w 至0.16m²·k/w范圍, 相當(dāng)于美國(guó)學(xué)者A.P.Gagge

所提出的衣服熱阻單位0.8一1.0clo。

在潔凈室中, 同樣應(yīng)依據(jù)人體熱舒適方程和PMV( Predicted Mean vote 預(yù)期平均評(píng)價(jià)) 和PPD (Predicted Percentage of Dissatisfied) 指標(biāo)來評(píng)價(jià)熱環(huán)境, 其出發(fā)點(diǎn)不僅是熱舒適, 而歸根結(jié)底是為了保證潔凈室人員高效率的工作狀態(tài), 這一點(diǎn)對(duì)于需要進(jìn)行的各種精細(xì)、準(zhǔn)確、快速操作的高級(jí)別工業(yè)潔凈室尤為重要。

按ISO一7730 標(biāo)準(zhǔn)中評(píng)價(jià)熱環(huán)境的指標(biāo), 應(yīng)綜合考慮人體活動(dòng)程度、衣著情況、空氣溫度、平均輻射溫度、空氣流動(dòng)速度和空氣濕度等六個(gè)因素。與普通空調(diào)房間不同, 由于潔凈室換氣次數(shù)大, 空氣流速一般都較高, 平均輻射溫度更接近于室內(nèi)溫度, 同時(shí)大部分潔凈室工藝允許的相對(duì)濕度范圍又較窄。

潔凈室人員的能量代謝率一般在70一一l00w/ m²的范圍, 相當(dāng)于1.2 到1.7met( metablic rate= 某活動(dòng)強(qiáng)度時(shí)的能量代謝率與靜坐時(shí)的能量代謝率之比)

根據(jù)上述條件測(cè)算, 并對(duì)一些潔凈室進(jìn)行了調(diào)查, 提出了如下建議, 除工藝有特殊要求外, 對(duì)較低級(jí)別的潔凈室如制藥、食品、化妝品等行業(yè), 全年溫、濕度宜控制在23 士4 ℃ 及50 土15% 范圍內(nèi), 冬、夏季設(shè)計(jì)工況分別選取范圍內(nèi)偏低和偏高值。較高級(jí)別潔凈室, 在工藝無特殊要求的情況下, 全年溫、濕度宜在23土2 ℃ 及50 土10 范圍內(nèi)。高級(jí)別潔凈室, 宜在23 土1℃ 及50 士5% 范圍內(nèi)。如圖1 所示。

由于滿足潔凈要求的通風(fēng)量一般遠(yuǎn)大于普通空調(diào)系統(tǒng)滿足熱、濕負(fù)荷所需送風(fēng)量, 因此送回風(fēng)溫差一般都很小, 并隨著潔凈級(jí)別的增高而減小。高級(jí)別潔凈室往往只有1一2 ℃ , 甚至送回風(fēng)溫差不足1℃ ,室內(nèi)溫、濕度控制在允許的溫度波動(dòng)范圍內(nèi)一般不成問題, 當(dāng)然若有室內(nèi)集中熱源, 采取必要的排熱、隔熱措施也是必要的。

從圖1可以看到, 所推薦的潔凈室溫、濕度設(shè)計(jì)值范圍與著名的熱舒適及室內(nèi)空氣品質(zhì)專家, 丹麥的Fanger 教授在美國(guó)堪薩斯州立大學(xué)通過實(shí)驗(yàn)所得到的舒適區(qū)域( 其適用條件是身著0.6一0.8clo服裝坐著的人), 以及ANS I/ A SHR AE 55一1992 所推薦的熱舒適區(qū)域( 適用于身著0.6一0.8clo服裝坐著但活動(dòng)量稍大的人)。兩塊舒適區(qū)重疊部位被認(rèn)為是較為理想的室內(nèi)熱舒適區(qū)域。

也可以看到所推薦的低級(jí)別潔凈室的溫、濕度區(qū)范圍, 特別是溫度的上、下限方面, 超出了美國(guó)所推薦的舒適區(qū)。主要出于節(jié)能方面的考慮, 其中也考慮到中國(guó)人的飲食習(xí)慣、攝人熱量、新陳代謝機(jī)能與美國(guó)人不同的因素, 而高級(jí)別潔凈室的室內(nèi)溫、濕度推薦范圍, 則基本上在最佳熱舒適區(qū)域內(nèi)。

二、潔凈空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)問題

絕大多數(shù)情況下, 由于潔凈室滿足潔凈度要求所需通風(fēng)量遠(yuǎn)大于滿足溫、濕度要求所需通風(fēng)量。因此潔凈室空氣處理系統(tǒng)( A HU )通常都是二次回風(fēng)系統(tǒng), 僅新風(fēng)和小部分回風(fēng)進(jìn)人空調(diào)裝置進(jìn)行熱、濕處理, 隨后與大部分循環(huán)風(fēng)即二次回風(fēng)混合, 經(jīng)過濾后進(jìn)人空氣輸配系統(tǒng)。在一些低級(jí)別潔凈室設(shè)計(jì)中普遍存在的問題有如下幾點(diǎn):

1、某些設(shè)計(jì)單位的作法是按潔凈室不同級(jí)別的送風(fēng)量的要求, 統(tǒng)計(jì)所需風(fēng)量。以此為主要依據(jù)選定空調(diào)機(jī)組, 所需冷、熱負(fù)荷量的計(jì)算結(jié)果僅作為選取空調(diào)機(jī)組的參考。一般情況, 按風(fēng)量選取的機(jī)組型號(hào), 其相應(yīng)配置的冷、熱盤管在空調(diào)標(biāo)準(zhǔn)工況下的供冷、供熱量遠(yuǎn)多于所需量; 因此認(rèn)為所選機(jī)組是符合要求的。至于所需送風(fēng)狀態(tài)參數(shù), 認(rèn)為反正可通過水溫、水量及一、二次回風(fēng)量調(diào)節(jié)來滿足。因此所選空調(diào)機(jī)組各功能段斷面尺寸是一致的。實(shí)際上, 除二次回風(fēng)及風(fēng)機(jī)段、中效過濾及出風(fēng)段應(yīng)滿足總風(fēng)量要求外, 其它的大部分功能段: 新、回風(fēng)段、粗效過濾、表冷、加熱、加濕段等處理的風(fēng)量往往僅是總風(fēng)量的1/3 至1/ 2, 斷面尺寸可大大縮小, 這不僅可節(jié)省建筑面積及空間, 而且冷、熱交換設(shè)備也將處于效率較高的經(jīng)濟(jì)流速下。

較為合理的潔凈空調(diào)機(jī)組, 應(yīng)為橫斷面不同的兩部分組成。前段以需要進(jìn)行熱、濕處理的空氣量為準(zhǔn), 后段以總送風(fēng)量為準(zhǔn)。前后兩段在送風(fēng)機(jī)的進(jìn)風(fēng)箱處連接, 一般風(fēng)阻很小, 且不影響風(fēng)機(jī)效率。

目前普遍存在的另一問題是風(fēng)機(jī)出風(fēng)口與中效過濾器段緊緊相鄰, 而出風(fēng)機(jī)風(fēng)口未設(shè)有效的均流裝置, 因而出風(fēng)口迎面的過濾器的過風(fēng)量大, 箱體斷面四角甚至可能有回流現(xiàn)象發(fā)生, 影響了過濾設(shè)備的整體效率。

2、合理的設(shè)計(jì)程序應(yīng)是

( ⅰ) 根據(jù)室內(nèi)參數(shù)及室內(nèi)熱、濕負(fù)荷, 確定經(jīng)空調(diào)熱、濕處理后應(yīng)達(dá)到的機(jī)器露點(diǎn)。當(dāng)一套空調(diào)凈化系統(tǒng)供應(yīng)多個(gè)房間時(shí), 以主要房間的熱、濕負(fù)荷, 或能兼顧多個(gè)房間室內(nèi)參數(shù)的熱、濕負(fù)荷比以及是否設(shè)置二次加熱等因素, 來確定機(jī)器露點(diǎn)。由于潔凈室送風(fēng)與室內(nèi)燴差小, 各房間溫、濕度較易控制在允許范圍, 一般采用二次回風(fēng), 無須設(shè)二次加熱或冷卻。

(ⅱ) 根據(jù)全熱負(fù)荷或濕負(fù)荷及滿足凈化要求的送風(fēng)量, 確定二次混合狀態(tài)點(diǎn), 忽略風(fēng)機(jī)溫升, 此點(diǎn)即送風(fēng)狀態(tài)點(diǎn)。對(duì)于風(fēng)機(jī)溫升可以有兩種處理方法, 一是將風(fēng)機(jī)熱負(fù)荷計(jì)為室內(nèi)負(fù)荷, 一是根據(jù)預(yù)測(cè)的風(fēng)機(jī)溫升相應(yīng)調(diào)整機(jī)器露點(diǎn), 由于凈化空調(diào)機(jī)組克服各級(jí)過濾器阻力所需機(jī)外靜壓值較大, 風(fēng)機(jī)配用電機(jī)功率較大, 風(fēng)機(jī)溫升應(yīng)予以考慮。

(ⅲ) 因機(jī)器露點(diǎn)、室內(nèi)狀態(tài)點(diǎn)及送風(fēng)參數(shù)點(diǎn)已定, 經(jīng)空調(diào)機(jī)組處理的風(fēng)量( G_A), 通常是新風(fēng)量( G₀) 與一次回風(fēng)量( G₁)之和。根據(jù)所需空調(diào)處理風(fēng)量與新風(fēng)量即可確定一次回風(fēng)量。

G₁ = G_A ― G₀

例外的情況可能發(fā)生, 譬如G_A =G₀, 則表明新風(fēng)量較大, 無一次回風(fēng); 此時(shí), 二次回風(fēng)與一次回風(fēng)合二為一, 需將新風(fēng)從室外參數(shù)點(diǎn)直接處理到機(jī)器露點(diǎn)。如果G₁< G₀, 則表明排風(fēng)量很大, 需補(bǔ)給的新風(fēng)量很多, 所確定的送風(fēng)參數(shù)點(diǎn)滿足不了新風(fēng)量的要求。此時(shí), 如果在室內(nèi)溫、濕度允許范圍內(nèi), 調(diào)低室溫或提高相對(duì)濕度, 以適當(dāng)調(diào)整二次混合點(diǎn)位置, 加大新風(fēng)量占總風(fēng)量的比例, 以滿足設(shè)計(jì)工況下新風(fēng)量的需要。否則就不得不采用二次加熱的方案。這種新風(fēng)量大, 又有處理過程的冷、熱量抵消的高能耗方案應(yīng)盡可能在設(shè)計(jì)中避免。

一般情況滿足潔凈室凈化級(jí)別的風(fēng)量, 大于滿足熱、濕負(fù)荷的風(fēng)量。因此潔凈空調(diào)系統(tǒng)通常是二次回風(fēng)系統(tǒng)。但特殊情況是存在的, 在制藥、醫(yī)療器械等的一些潔凈級(jí)別低, 而熱、濕負(fù)荷又很大的車間, 可能要以滿足溫、濕度要求所計(jì)算得到的通風(fēng)量來決定空調(diào)凈化系統(tǒng)的總風(fēng)量。例如作者與新加坡Quest公司合作, 為以生產(chǎn)一次性注射器等醫(yī)療用品為主的福建某合資企業(yè)所設(shè)計(jì)的10萬級(jí)潔凈車間, 因工藝發(fā)熱量很大, 夏季單位面積冷負(fù)荷指標(biāo)高達(dá)7 56 w/ m², 因此滿足室內(nèi)溫、濕度要求的設(shè)計(jì)通風(fēng)量換氣達(dá)到59 次, 遠(yuǎn)高于滿足潔凈度所需的通風(fēng)量。

三、高級(jí)別潔凈室設(shè)計(jì)的一些問題

1 、目前來看, 高級(jí)別潔凈室目前主要用于超大規(guī)模集成電路( ULSI)、薄膜晶體管液晶顯示器( TFT一CL D) 等工藝。

這類潔凈廠房的特點(diǎn)是: 投資規(guī)模大, 通風(fēng)換氣量大, 產(chǎn)品及工藝更新快。此外對(duì)生產(chǎn)環(huán)境控制要求嚴(yán), 且隨產(chǎn)品更新要求更趨嚴(yán)格。因此, 從技術(shù)經(jīng)濟(jì)綜合優(yōu)化的標(biāo)出發(fā), 在這類潔凈室設(shè)計(jì)時(shí), 充分考慮生產(chǎn)環(huán)境能具備適應(yīng)工藝快速變化的靈活性是其基本原則之一。

從能耗方面來看, 這類潔凈室由于通風(fēng)換氣量大, 溫、濕度控制、壓差控制要求嚴(yán)格, 因此空調(diào)凈化設(shè)備運(yùn)行能耗往往占工廠總能耗比例高達(dá)40 % , 與一般空調(diào)系統(tǒng)不同, 其空氣輸送動(dòng)力可占到空調(diào)凈化系統(tǒng)總耗電量的一半以上, 而冷、熱源設(shè)備能耗量?jī)H占不足一半。

這類潔凈室空調(diào)系統(tǒng)的室內(nèi)負(fù)荷由生產(chǎn)設(shè)備、風(fēng)機(jī)熱轉(zhuǎn)化負(fù)荷、照明、人員和建筑負(fù)荷等組成, 一般情況前兩項(xiàng)占空調(diào)室內(nèi)負(fù)荷的90 % 以上。

這類潔凈室因室內(nèi)人員少, 又無其它濕源, 因此熱、濕負(fù)荷比值ε≈+∞, 而且室內(nèi)全年負(fù)荷變化甚少, 全年都需要排除室內(nèi)余熱。在中國(guó)大部分地區(qū), 其冬、夏季處理過程如圖2 所示。

2、降溫去濕的方法及所需冷量

高級(jí)別潔凈室一般都是按橫斷面風(fēng)速確定總送風(fēng)量, 又按維持正壓、排風(fēng)以及衛(wèi)生等要求確定新風(fēng)量。新風(fēng)不僅涉及熱、濕負(fù)荷耗量, 同時(shí)還關(guān)系到過濾大氣塵埃的負(fù)擔(dān), 宜在可能范圍內(nèi)盡量降低。

依據(jù)經(jīng)驗(yàn), 一般新風(fēng)量約在30 m³ /h·m² 至60 m³ /h·m², 約相當(dāng)于8一16 次換氣, 或占總風(fēng)量比例的2一4%。由于新風(fēng)量與總送風(fēng)量已定, 送風(fēng)焙差或溫差即送風(fēng)參數(shù)點(diǎn)由室內(nèi)負(fù)荷及總風(fēng)量確定。以室外大氣壓為10 1 kaP ( 標(biāo)準(zhǔn)大氣壓), 設(shè)計(jì)參數(shù)分別為23 ℃ 、50 % , 熱、濕負(fù)荷比。ε≈+∞的某潔凈室為例, 潔凈室斷面風(fēng)速為0.355m/s ( 70 fpm ), 單位面積送風(fēng)量為1280m³ /h·m²。從表中數(shù)據(jù)可以看出, 除非室內(nèi)負(fù)荷大致在150kcal/h·m²( 含風(fēng)機(jī)溫升) 以下, 否則單靠對(duì)新風(fēng)進(jìn)行冷、熱負(fù)荷處理是滿足不了潔凈室送風(fēng)參數(shù)的要求, 即潔凈室的溫、濕度不能予以保證。

在此情況下, 可以有多種選擇方案。

一種常見的方案是根據(jù)室內(nèi)負(fù)荷、送風(fēng)量確定送風(fēng)參數(shù), 即二次混合比后, 根據(jù)一次送風(fēng)量和新風(fēng)量的差值, 例如參考表1 所列的數(shù)據(jù), 室內(nèi)冷負(fù)荷為400 k cal /h·m² ( 46 5 w/ m² ), 滿足室內(nèi)設(shè)計(jì)參數(shù)所要求的,經(jīng)空調(diào)處理的風(fēng)量為148 m³ /h·m², 若新風(fēng)量?jī)H60 m³ /h·m², 則其差額即為一次回風(fēng)量。以本例來看, 需經(jīng)空調(diào)處理設(shè)備進(jìn)行冷熱處理的風(fēng)量約為150 次換氣, 其量是很可觀的。但因?yàn)橛辛艘淮位仫L(fēng)與新風(fēng)的混合, 使空氣處理過程變得較為容易實(shí)現(xiàn), 因?yàn)橄鄬?duì)于全新風(fēng)空調(diào)處理過程, 所要求的燴降量減少, 冷凍水進(jìn)水溫度可以提高。即使空氣處理機(jī)房與潔凈室相鄰, 在技術(shù)上也沒有困難, 但對(duì)于室內(nèi)負(fù)荷較大的潔凈室, 其空調(diào)設(shè)備的容量、占地及空調(diào)處理空氣的送、回風(fēng)管道需占據(jù)空間, 往往也是值得考慮的問題。

針對(duì)上述問題的另一方案是采取室內(nèi)循環(huán)風(fēng), 也就是二次回風(fēng)就地冷卻, 以解決新風(fēng)不能提供所需全部冷負(fù)荷的問題, 這也是當(dāng)前許多高級(jí)別潔凈室的習(xí)慣作法。通常在潔凈室回風(fēng)靜壓箱與回風(fēng)豎井交接處設(shè)置水冷式表冷器, 一般都處于干工況, 供水溫度大多在14一巧℃ , 可以通過電動(dòng)閥來調(diào)節(jié)由冷水機(jī)組直供的冷凍水, 或者來自空調(diào)機(jī)組的冷凍水回水與循環(huán)水的比例來控制供水溫度。電動(dòng)三通閥的動(dòng)作由中心控制室根據(jù)室溫變化給出影響的指令。這種處理過程在i一d 圖上表示如下:

如果循環(huán)風(fēng)不經(jīng)冷卻與狀態(tài)L 的新風(fēng)混合, 其混合狀態(tài)點(diǎn)C1 將比所需送風(fēng)參數(shù)點(diǎn)O 的燴值高。為了保證室內(nèi)設(shè)計(jì)溫度循環(huán)風(fēng)所需的總冷量為  

由上式可以明顯看出,Q2值等于房間所需冷量G(in 一10) 與新風(fēng)所提供的冷量G1 ( in 一i)L 的差值。因?yàn)檠h(huán)風(fēng)量很大, 工程應(yīng)用中, 并不需要在全部循環(huán)風(fēng)道上設(shè)置干冷表冷器, 而是在保證送風(fēng)靜壓箱風(fēng)溫均勻的前提下, 間隔地設(shè)置帶阻尼的回風(fēng)口及表冷器。部分循環(huán)風(fēng)經(jīng)表冷器后一般溫降3一5 ℃ , 再與未經(jīng)表冷器處理的空氣混合到室內(nèi)送風(fēng)狀態(tài)。

3、高級(jí)別潔凈室常常需要暖通參與決策的另一個(gè)較大的空調(diào)凈化通風(fēng)方案是空氣循環(huán)方式。

無論是全面垂直單向流方式、開放灣( opening bay type) 或是潔凈隧道方式(tunnel type), 都存在空氣循環(huán)方式的選擇問題。目前來看, 采用模塊式風(fēng)機(jī)單元(MFU一Fan Module Uint ) 方式及風(fēng)機(jī)過濾器機(jī)組( FFU一Fan Filter unit ) 方式, 循環(huán)空氣多于再循環(huán)風(fēng)機(jī)一管道方式( Recycle

Fan 一Duct  Type)。與FFU 方式不同的是,FMU 方式是一臺(tái)送風(fēng)機(jī)供給多臺(tái)ULP A 過濾器所需循環(huán)風(fēng)量。例如,

Motorola 西青芯片廠一臺(tái)送風(fēng)機(jī)負(fù)責(zé)20 臺(tái)左右2 英尺* 4 英尺的U LPA 過濾器。空氣循環(huán)是無風(fēng)道方式, 與廠房作為一體而成。由于風(fēng)機(jī)室和送風(fēng)靜壓箱各自獨(dú)立, 因此維修、更換容易, 在各種空氣循環(huán)方式中, 其空氣動(dòng)力消耗最小。( 見表2 )

與FFU方式相比, 由于送風(fēng)靜壓箱內(nèi)壓力均一, 只要ULPA 過濾器阻力相同, 出風(fēng)就十分均勻; 而FFU方式一般需要依據(jù)要求的出風(fēng)風(fēng)速, 逐臺(tái)調(diào)整風(fēng)機(jī)的可變電容或其它調(diào)速裝置。

與FFU方式相比,FM U 方式如果有一臺(tái)風(fēng)機(jī)故障停機(jī)時(shí), 對(duì)潔凈室影響不大; 而F FU 方式在風(fēng)機(jī)發(fā)生故障時(shí), 此臺(tái)設(shè)備將無風(fēng)送出, 而使周圍潔凈度都受影響。F FU 方式較FMU 方式風(fēng)機(jī)數(shù)量多5一2 0 倍, 風(fēng)機(jī)與過濾器又成一體, 因此維修隱患和難度均略大。

此外FFU方式在噪聲控制方面也較FMU 與RC F一D 方式要困難些, 但FFU 方式適應(yīng)工藝變更的靈活性是最突出的, 在工藝變更時(shí), 只要將各臺(tái)FF U 的供電線路重新組合, 將操作面和生產(chǎn)線上方的各臺(tái)FFU機(jī)組并聯(lián)到另一變頻控制器上, 可以分別調(diào)整供電頻率, 使F F U 的風(fēng)機(jī)在不同轉(zhuǎn)速下工作, 送出不同速度的潔凈空氣, 在大面積潔凈室中按需要區(qū)別出不同的潔凈級(jí)別。

各種循環(huán)方式應(yīng)結(jié)合工程實(shí)際, 絕對(duì)的優(yōu)或劣往往是不存在的。